設備優勢:
1、高產能
182:14500片/h
210:12500片/h
2、高效率
小換水 30min/次
大換水 90min/次
3、節能
用水量:182片 1.4T/萬片
210片 1.7T/萬片
用電量:182片 135Kwh/萬片
210片 153Kwh/萬片
設備參數:
1、設備長寬高 20米x3.1米x3.5米(不包含下料皮帶線)
2、總功率:550KW(根據實際的工藝定制)
3、電源:380V±10%,頻率50HZ,三項五線制
4、氣壓:0.6MPa
5、水壓:正常市水
6、使用環境 :(環境溫度 -10~40℃)(濕度:相對濕度 ≤80%)
*以上參數以實際產品為準
應用范圍:
適用硅片外形尺寸:166mm-230mm
適用硅片厚度:100μm-160μm